Sistema de Litografia a Laser µPG 101 Heildelberg Instruments
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Sistema de Litografia a Laser (Laser Writer) µPG 101 Heildelberg Instruments
Introdução
Sistema de Litografia a Laser (Laser Writer) µPG 101 Heildelberg Instruments.
Responsáveis
- Coordenador do Laboratório Multiusuários - LAMULT - IFGW
- Supervisor do Laboratório Multiusuários - LAMULT - IFGW
Localização
Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW)
Laboratório Multiusuários - LAMULT
Contato
Descrição
O equipamento de litografia µPG101 da Heidelberg Instruments consiste em um sistema capaz de expor um substrato, previamente preparado, a um feixe de laser com resolução micrométrica. A exposição é realizada na forma de um desenho ou padrão através de arquivos do tipo GDSII, DXF, Bitmap, CIF ou Gerber.
O equipamento é útil na fotolitografia, processo utilizado em micro fabricação de um modo geral, com destaque para a síntese de MEMS (Micro Eletrical Mechanical Systems) e circuitos integrados. A técnica tem vasta aplicação nas áreas de microeletrônica, micro fluídica e de dispositivos, entre outras.
- Consultar as regras básicas de utilização do LAMULT
- Solicitar agendamento no site Reserva de Equipamentos do IFGW, no dia/horário pretendido.
- Mais informações (Como usar, documentação, treinamentos) consulte aqui.