Sistema de Litografia a Laser µPG101 Heidelberg LAMULT

Sistema de Litografia a Laser (Laser Writer) µPG 101 Heildelberg Instruments

Sistema de Litografia a Laser (Laser Writer) µPG 101 Heildelberg Instruments

Introdução

Sistema de Litografia a Laser (Laser Writer) µPG 101 Heildelberg Instruments.

Responsáveis

Localização

Instituto de Física "Gleb Wataghin" (IFGW)
Laboratório Multiusuários - LAMULT

Contato

Este endereço de email está sendo protegido de spambots. Você precisa do JavaScript ativado para vê-lo.

Descrição

O equipamento de litografia µPG101 da Heidelberg Instruments consiste em um sistema capaz de expor um substrato, previamente preparado, a um feixe de laser com resolução micrométrica. A exposição é realizada na forma de um desenho ou padrão através de arquivos do tipo GDSII, DXF, Bitmap, CIF ou Gerber.

O equipamento é útil na fotolitografia, processo utilizado em micro fabricação de um modo geral, com destaque para a síntese de MEMS (Micro Eletrical Mechanical Systems) e circuitos integrados. A técnica tem vasta aplicação nas áreas de microeletrônica, micro fluídica e de dispositivos, entre outras.