Sistema de Litografia a Laser µPG101 Heidelberg LAMULT

Sistema de Litografia a Laser µPG 101 Heildelberg Instruments

Sistema de Litografia a Laser µPG 101 Heildelberg Instruments

Introdução

Sistema de Litografia a Laser µPG 101 Heildelberg Instruments.

Responsáveis - LAMULT

  • Prof. Dr. Francisco das Chagas Marques - Coordenador
  • Rosane Palissari - Supervisora do LAMULT

Localização

Instituto de Física "Gleb Wataghin" (IFGW) - Laboratório Multiusuários - LAMULT

Descrição

O sistema de litografia µPG 101 da Heidelberg Instruments consiste em uma máquina capaz de expor um substrato previamente preparado a um feixe de laser com resolução micrométrica. Essa exposição é realizada na forma de um desenho ou padrão inserido pelo usuário através de arquivos GDSII, DXF, Bitmap, CIF ou Gerber.

O equipamento é útil na fotolitografia, processo utilizado em micro fabricação de um modo geral, com destaque para a síntese de MEMS (Micro Eletrical Mechanical Systems) e circuitos integrados. Tem vasta aplicação nas áreas de microeletrônica, micro fluídica e de dispositivos, entre outras.

O equipamento pode carregar substratos de até 5 polegadas, tem sistema de posicionamento com ajuste de foco em tempo real e passo mínimo nos eixos XY de 40 nm. Vem equipado com laser de estado sólido com comprimento de onda de 380 nm. Pode ser usado para fabricar estruturas da ordem de 0,9 um, com velocidade de até 5 mm2 por minuto.