Laser Writer Heidelberg – Litografia a laser

Descrição

O sistema de litografia µpg101 da Heidelberg Instruments consiste em uma máquina capaz de expor um substrato previamente preparado a um feixe de laser com resolução micrométrica. O equipamento é útil na fotolitografia, processo utilizado em micro fabricação de um modo geral, com destaque para a síntese de MEMS (Micro Eletrical Mechanical Systems) e circuitos integrados. Tem vasta aplicação nas áreas de microeletrônica, micro fluídica e de dispositivos, entre outras.

Procedimento de utilização

Consultar https://sites.ifi.unicamp.br/lamult/como-usar/regras-para-uso-acervo-lamult/