Evaporadora por Feixe de Elétrons

Evaporadora por Feixe de Elétrons

Técnicos responsáveis pelo atendimento

Antonio Augusto G. Von Zuben - Este endereço de e-mail está sendo protegido de spambots. Você precisa habilitar o JavaScript para visualizá-lo.

Professor responsável - Newton Cesario Frateschi - Este endereço de e-mail está sendo protegido de spambots. Você precisa habilitar o JavaScript para visualizá-lo.

Localização

Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW) - DFA - Laboratório 38

Descrição

Uma evaporadora por feixe de elétrons (E-beam) é utilizada para a deposição de filmes finos metálicos. É um equipamento de deposição física em fase vapor (PVD) .

Especificações técnicas

Fonte de alimentação de alta tensão: 6 kV

Procedimento de utilização

A evaporadora por feixe de elétrons (E-beam) é utilizada para evaporar metais e ligas metálicas sob alto vácuo, formando filmes finos de elevada pureza e uniformidade sobre diferentes tipos de substratos. O sistema permite a evaporação de até sete materiais, incluindo Ti, Pt, Au, Ge, Ni, Al e Cr.